Apa saja komponen sistem vakum?

Sistem vakum adalah suatu peralatan industri lengkap yang terdiri dari pompa vakum, sistem kendali program PLC, tangki penyimpanan gas, pipa vakum, dan komponen lainnya. Ini banyak digunakan di berbagai bidang seperti semikonduktor elektronik, modul lampu latar optoelektronik, permesinan, pengemasan makanan, dan laboratorium medis untuk menjaga lingkungan vakum yang stabil guna mendukung proses manufaktur yang presisi.

 

Sistem ini mengadopsi desain modular, mengintegrasikan kontrol kecepatan pemompaan, filtrasi saluran masuk, tampilan data operasi, dan antarmuka kendali jarak jauh. Selama-pemasangan di lokasi, hanya catu daya dan sambungan pipa yang diperlukan untuk pengoperasian. Pengelolaan yang sepenuhnya otomatis dicapai melalui sistem kontrol PLC dan antarmuka manusia-mesin layar sentuh. Secara otomatis dapat beralih antara kelompok pompa utama dan cadangan (seperti pompa ulir dan pompa Roots) untuk memastikan tingkat vakum yang stabil. Dilengkapi dengan pematian otomatis jika terjadi pemadaman listrik, kelebihan beban motor, dan perlindungan sirkuit pendek, serta mendukung sistem pemulihan hidrogen untuk meningkatkan keselamatan dan efisiensi energi.

 

Dalam industri semikonduktor, sistem vakum menyediakan jalur berkas-yang tertutup vakum untuk litografi EUV, sehingga memastikan transmisi sumber cahaya ultraviolet ekstrem yang stabil. Mereka juga digunakan dalam proses penting seperti pelapisan PECVD, etsa kering vakum, dan implantasi ion, yang memerlukan persyaratan pemompaan mulai dari kondisi pengoperasian yang bersih hingga kondisi pengoperasian yang berat dan standar bahan partikulat yang sangat-rendah. Selain itu, sistem ini juga dapat memberikan solusi vakum menyeluruh untuk pembuatan sel fotovoltaik, pengawetan makanan, peralatan medis, dan aplikasi lainnya.